微透镜阵列是由通光孔径及浮雕深度为微米级的透镜组成的阵列，它不仅具有传统透镜的聚焦、成像等基本功能，而且具有单元尺寸小、集成度高的特点，使得它能够完成传统光学元件无法完成的功能，并能构成许多新型的光学系统。

2.衍射光学元件（DOE）

衍射光学元件（Diffractive Optical Elements) 简称 DOE，主要用于激光束整形，比如分束、匀光、准直、聚焦、形成特定图案等。

3.光栅

由大量等宽等间距的平行狭缝构成的光学器件称为光栅（grating）。大量的应用在光谱成像、VR显示、分光器件等工业及其科研领域。

4.混合光电芯片网络集成

芯片，特别是光学芯片的整合过程需要对不同芯片进行桥接。利用纳米三维制造，在不同芯片间定点链接，不需要二步操作，制作简便，精确度高并且传输损耗低。

优势：

1.实现硅基光电芯片网络之间低损耗连接

2.实现硅基光子芯片网络连接自动化，提升连接效率

3.提升每毫米芯片尺度连接密度，提升硅基光子芯片集成度

4.实现三维空间硅基光子芯片间自由连接

5.高性能传感器

纳米三维制造正在替代电子束刻技术，生产等离子纳米天线阵，用于化学和生物传感器。制作过程更加可靠，快速，简便，低成本。